發(fā)布日期：2015-06-25 17:58:00
簡(jiǎn)要描述：
產(chǎn)品規(guī)格品名濃度(%)平衡氣體壓力(MPa)容積(L)閥門(mén)硅烷混合氣體0.5-50Ar、N2、He、H25-124-47可根據(jù)用戶要求提供磷烷混合氣體5ppm-23Ar、N2、He、H25-120.7-17硼烷混合氣體5ppm-10Ar、N2、He、H25-104-17砷烷混合氣體5ppm-5Ar、N2、He、H25-120.7-17硒化氫混合10ppm-5Ar、N2、He、H25-124-17乙硅烷5ppm-2Ar、N2、He、H2≥50.7-17鍺烷5ppm-0.5Ar、N2、He、H2≥50.2-17包裝：1-40（升）瓶裝，標(biāo)準(zhǔn)充裝壓力：9.5MPa，組分和濃度范圍可根據(jù)要求配制。
| 品名 | 濃度 (%) | 平衡氣體 | 壓力(MPa) | 容積(L) | 閥門(mén) |
| 硅烷混合氣體 | 0.5-50 | Ar、N2、He、H2 | 5-12 | 4-47 | 可根據(jù)用戶要求提供 |
| 磷烷混合氣體 | 5ppm-23 | Ar、N2、He、H2 | 5-12 | 0.7-17 | |
| 硼烷混合氣體 | 5ppm-10 | Ar、N2、He、H2 | 5-10 | 4-17 | |
| 砷烷混合氣體 | 5ppm-5 | Ar、N2、He、H2 | 5-12 | 0.7-17 | |
| 硒化氫混合 | 10ppm-5 | Ar、N2、He、H2 | 5-12 | 4-17 | |
| 乙硅烷 | 5ppm-2 | Ar、N2、He、H2 | ≥5 | 0.7-17 | |
| 鍺烷 | 5ppm-0.5 | Ar、N2、He、H2 | ≥5 | 0.2-17 |
包裝：1-40（升）瓶裝，標(biāo)準(zhǔn)充裝壓力：9.5 MPa，組分和濃度范圍可根據(jù)要求配制。
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